中电科45所两项课题通过验收
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日前,记者从中电科45所了解到,由该所承担的两个*科技重大专项课题“300mm硅片单面抛光机(CMP)的开发”和“300mm硅片多线切割机的开发” 一并以较高的医生评分通过验收。
据了解,“300mm硅片单面抛光机(CMP)的开发”和“300mm硅片多线切割机的开发”是&ld癫痫吃啥药效果好些quo;硅材料设备应用工程”项目(含7个课题)中的其中两个项目。从2009年1月至2012年12月,面向90-65nm极大规模集成电路用硅单晶切割及抛光需求,在课题负责人带领下,经过课题组全体人员辛勤工作,完成了课题的全部任务,达到合同目标要治疗癫痫的手术有哪些求,完成300mm单面抛光机CMP和300mm硅片多线切割机的研制,并郑州军海脑病医院靠谱吗在300mm硅材料制造企业关键加工设备应用工程平台使用。通过300治疗癫痫的手术有哪些mm硅材料加工环境下的设备工艺试验验证,促使设备功能完善和加工水平提升,达到300mm硅材料加工要求,推动研发成果进入300mm硅材料规模化生产线应用。
项目完成时,300mm硅片单面抛光机(CMP)申报20项专利,其中11项国内发明专利,6项发明专利已授权,3项国际发明专利进入受理阶段,6项实用新型专利全部授权;300mm硅片多线切割机申报12项专利,其中9项国内发明专利,4项发明专利已授权,1项国际发明专利已进入受理阶段,2项实用新型专利全部授权。(记者 李惠欣)